Beam Technologies for Integrated Processing.

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Staff, National Research Council
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Washington : National Academies Press, 1900.
Temas:
Microelectronics industry.
Molecular beams > Industrial applications.
Microelectronics > Materials.
Plasma-enhanced chemical vapor deposition > Industrial applications.
Microélectronique > Industrie.
Faisceaux moléculaires > Applications industrielles.
Microélectronique > Matériaux.
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma > Applications industrielles.
Microelectronics industry
Microelectronics > Materials
Molecular beams > Industrial applications
Plasma-enhanced chemical vapor deposition > Industrial applications
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource (106 pages)
ISBN:9780309583954
0309583950

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