Micro electro mechanical systems (MEMS) : technology, fabrication processes, and applications /

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Ekwall, Britt, Cronquist, Mikkel
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Hauppauge, N.Y. : Nova Science Publishers, [2010]
Colección:Nanotechnology science and technology series.
Temas:
Microelectromechanical systems.
Microsystèmes électromécaniques.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Mechanical.
Microelectromechanical systems
Acceso en línea:Texto completo
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Micro electro mechanical systems (MEMS) : technology, fabrication processes, and applications /
Publicado 2010
Texto completo
Electrónico eBook
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