Low-k nanoporous interdielectrics : materials, thin film fabrications, structures and properties /

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Ree, Moonhor
Otros Autores: Yoon, Jinhwan, Heo, Kyuyoung
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Hauppauge, N.Y. : Nova Science Publishers, c2010.
Colección:Nanotechnology science and technology series.
Temas:
Dielectric films.
Microelectronics > Materials.
Porous materials.
Interconnects (Integrated circuit technology)
Couches diélectriques.
Microélectronique > Matériaux.
Interconnexions (Technologie des circuits intégrés)
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Microelectronics.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Digital.
Dielectric films
Microelectronics > Materials
Porous materials
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource
Bibliografía:Includes bibliographical references (pages [51]-61) and index.
ISBN:9781617283185
1617283185

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