Cargando…

MEMS mechanical sensors /

Annotation

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Beeby, Stephen
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Boston : Artech House, ©2004.
Colección:Microelectromechanical systems series.
Temas:
Acceso en línea:Texto completo

MARC

LEADER 00000cam a22000004a 4500
001 EBOOKCENTRAL_ocm55895606
003 OCoLC
005 20240329122006.0
006 m o d
007 cr cnu|||unuuu
008 040713s2004 maua ob 001 0 eng d
040 |a N$T  |b eng  |e pn  |c N$T  |d OCLCQ  |d YDXCP  |d OCLCQ  |d TUU  |d OCLCQ  |d B24X7  |d OCLCQ  |d OCLCO  |d OCLCQ  |d OCLCF  |d DKDLA  |d NLGGC  |d REDDC  |d EBLCP  |d MERUC  |d CCO  |d E7B  |d COCUF  |d FVL  |d SLY  |d DEBSZ  |d OCLCQ  |d COO  |d OCLCQ  |d AZK  |d JBG  |d LOA  |d AGLDB  |d AUW  |d MOR  |d PIFBR  |d ZCU  |d OCLCQ  |d WY@  |d U3W  |d LUE  |d STF  |d WRM  |d VTS  |d NRAMU  |d ICG  |d INT  |d VT2  |d TOF  |d OCLCQ  |d AU@  |d WYU  |d OCLCQ  |d G3B  |d DKC  |d OCLCQ  |d UKAHL  |d S9I  |d OCLCQ  |d K6U  |d S2H  |d OCLCQ  |d OCLCO  |d MHW  |d OCLCO  |d OCLCQ  |d OCLCO  |d OCLCL 
019 |a 63057774  |a 70733931  |a 478317057  |a 559837530  |a 646733157  |a 650969202  |a 664114763  |a 722363328  |a 728032504  |a 791296855  |a 880326711  |a 888477421  |a 961582665  |a 961613003  |a 962644627  |a 962705169  |a 966180256  |a 988441553  |a 991909300  |a 991982850  |a 1037703091  |a 1038696715  |a 1045505980  |a 1053072363  |a 1055381263  |a 1058815498  |a 1062872227  |a 1081220647  |a 1097096015 
020 |a 1580538738  |q (electronic bk.) 
020 |a 9781580538732  |q (electronic bk.) 
020 |a 1580535364  |q (alk. paper) 
020 |a 9781580535366  |q (alk. paper) 
029 1 |a AU@  |b 000040656887 
029 1 |a AU@  |b 000051394681 
029 1 |a AU@  |b 000053227842 
029 1 |a AU@  |b 000062548608 
029 1 |a DEBBG  |b BV043117864 
029 1 |a DEBBG  |b BV044080598 
029 1 |a DEBSZ  |b 422380237 
029 1 |a DEBSZ  |b 430291256 
029 1 |a GBVCP  |b 801160588 
029 1 |a NZ1  |b 12021487 
035 |a (OCoLC)55895606  |z (OCoLC)63057774  |z (OCoLC)70733931  |z (OCoLC)478317057  |z (OCoLC)559837530  |z (OCoLC)646733157  |z (OCoLC)650969202  |z (OCoLC)664114763  |z (OCoLC)722363328  |z (OCoLC)728032504  |z (OCoLC)791296855  |z (OCoLC)880326711  |z (OCoLC)888477421  |z (OCoLC)961582665  |z (OCoLC)961613003  |z (OCoLC)962644627  |z (OCoLC)962705169  |z (OCoLC)966180256  |z (OCoLC)988441553  |z (OCoLC)991909300  |z (OCoLC)991982850  |z (OCoLC)1037703091  |z (OCoLC)1038696715  |z (OCoLC)1045505980  |z (OCoLC)1053072363  |z (OCoLC)1055381263  |z (OCoLC)1058815498  |z (OCoLC)1062872227  |z (OCoLC)1081220647  |z (OCoLC)1097096015 
050 4 |a TK7875  |b .M4537 2004eb 
072 7 |a TEC  |x 064000  |2 bisacsh 
082 0 4 |a 681/.2  |2 22 
084 |a TN403  |2 clc 
084 |a TP212. 03  |2 clc 
084 |a ZN 3750  |2 rvk 
084 |a ZN 4980  |2 rvk 
049 |a UAMI 
245 0 0 |a MEMS mechanical sensors /  |c Stephen Beeby [and others]. 
260 |a Boston :  |b Artech House,  |c ©2004. 
300 |a 1 online resource (x, 269 pages) :  |b illustrations 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a computer  |b c  |2 rdamedia 
338 |a online resource  |b cr  |2 rdacarrier 
347 |a data file 
490 1 |a Artech House microelectromechanical systems (MEMS) series 
504 |a Includes bibliographical references and index. 
588 0 |a Print version record. 
520 8 |a Annotation  |b Engineers and researchers can turn to this reference time and time again when they need to overcome challenges in design, simulation, fabrication, and application of MEMS (microelectromechanical systems) sensors. 
505 0 0 |g Machine generated contents note:  |g Ch. 1  |t Introduction --  |g Ch. 2  |t Materials and fabrication techniques --  |g Ch. 3  |t MEMS simulation and design tools --  |g Ch. 4  |t Mechanical sensor packaging --  |g Ch. 5  |t Mechanical transduction techniques --  |g Ch. 6  |t Pressure sensors --  |g Ch. 7  |t Force and torque sensors --  |g Ch. 8  |t Inertial sensors --  |g Ch. 9  |t Flow sensors. 
590 |a ProQuest Ebook Central  |b Ebook Central Academic Complete 
590 |a eBooks on EBSCOhost  |b EBSCO eBook Subscription Academic Collection - Worldwide 
650 0 |a Microelectromechanical systems. 
650 0 |a Detectors. 
650 6 |a Microsystèmes électromécaniques. 
650 7 |a TECHNOLOGY & ENGINEERING  |x Sensors.  |2 bisacsh 
650 0 7 |a Detectors.  |2 cct 
650 0 7 |a Microelectromechanical systems.  |2 cct 
650 7 |a Detectors  |2 fast 
650 7 |a Microelectromechanical systems  |2 fast 
700 1 |a Beeby, Stephen. 
758 |i has work:  |a MEMS mechanical sensors (Text)  |1 https://id.oclc.org/worldcat/entity/E39PCYhww7XwRQk7M9VwQCYF8C  |4 https://id.oclc.org/worldcat/ontology/hasWork 
776 0 8 |i Print version:  |t MEMS mechanical sensors.  |d Boston : Artech House, ©2004  |z 1580535364  |w (DLC) 2004046158  |w (OCoLC)54692250 
830 0 |a Microelectromechanical systems series. 
856 4 0 |u https://ebookcentral.uam.elogim.com/lib/uam-ebooks/detail.action?docID=231651  |z Texto completo 
938 |a Askews and Holts Library Services  |b ASKH  |n AH20050140 
938 |a Books 24x7  |b B247  |n bke00000545 
938 |a ProQuest Ebook Central  |b EBLB  |n EBL231651 
938 |a ebrary  |b EBRY  |n ebr10081990 
938 |a EBSCOhost  |b EBSC  |n 112165 
938 |a IEEE  |b IEEE  |n 9100080 
938 |a YBP Library Services  |b YANK  |n 2358755 
994 |a 92  |b IZTAP