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Gettering Defects in Semiconductors

Gettering Defects in Semiconductors fulfills three basic purposes: - to systematize the experience and research in exploiting various gettering techniques in microelectronics and nanoelectronics; - to identify new directions in research, particularly to enhance the perspective of professionals and y...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autores principales: Perevostchikov, Victor A. (Autor), Skoupov, Vladimir D. (Autor)
Autor Corporativo: SpringerLink (Online service)
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg : Imprint: Springer, 2005.
Edición:1st ed. 2005.
Colección:Springer Series in Advanced Microelectronics, 19
Temas:
Acceso en línea:Texto Completo

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