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Dry Etching Technology for Semiconductors

This book is a must-have reference to dry etching technology for semiconductors, which will enable engineers to develop new etching processes for further miniaturization and integration of semiconductor integrated circuits.  The author describes the device manufacturing flow, and explains in which p...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Nojiri, Kazuo (Autor)
Autor Corporativo: SpringerLink (Online service)
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Cham : Springer International Publishing : Imprint: Springer, 2015.
Edición:1st ed. 2015.
Temas:
Acceso en línea:Texto Completo

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