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  1. 1
    Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /
    por Kääriäinen, Tommi
    Publicado 2013
    Texto completo
    Electrónico eBook
  2. 2
    Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications /
    por Kaariainen, Tommi
    Publicado 2013
    Texto completo
    Electrónico eBook