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    Metallic oxynitride thin films by reactive sputtering and related deposition methods : processes, properties and applications /
    por Vaz, Filipe
    Publicado 2013
    Otros Autores:
    Texto completo
    Electrónico eBook
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    Metallic oxynitride thin films by reactive sputtering and related deposition methods : processes, properties and applications /
    por Vaz, Filipe
    Publicado 2013
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